訪談｜ASML全球高級副總裁沈波：開放合作半導(dǎo)體行業(yè)才能發(fā)展

　　(第五屆進博會)訪談｜ASML全球高級副總裁沈波：開放合作半導(dǎo)體行業(yè)才能發(fā)展

　　中新社上海11月6日電題：訪談｜ASML全球高級副總裁沈波：開放合作半導(dǎo)體行業(yè)才能發(fā)展

　　中新社記者李佳佳

　　元宇宙體驗、光刻機“開箱”視頻和H5虛擬課堂，備受外界關(guān)注的全球半導(dǎo)體行業(yè)供應(yīng)商ASML在第五屆中國國際進口博覽會上，首次通過“元宇宙”平臺，帶來沉浸式的光刻體驗，彰顯前沿科技。

　　自1988年交付首臺步進式光刻機以來，ASML進入中國市場已有三十余年，見證、親歷和支持了中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

　　“今年是ASML第四次參展進博會，我們希望借助進博會的平臺不斷地展現(xiàn)開放共贏、合作發(fā)展的理念。”ASML全球高級副總裁、中國區(qū)總裁沈波表示：“ASML一直秉持開放與專注，以‘開放式創(chuàng)新’和對光刻技術(shù)的專注，持續(xù)支持半導(dǎo)體行可視對講業(yè)的發(fā)展。在進博會，我們可以與全行業(yè)甚至跨行業(yè)的企業(yè)和合作伙伴加深交流，共商合作前景。”

　　首次在進博會亮相的“ASML元宇宙”之旅給此間觀展者帶去了身臨其境的獨特體驗。在ASML元宇宙空間里，觀展者可以“親身”進入無塵室，近距離接觸神秘的光刻機，更可以結(jié)合影視級效果的3D裸眼視頻，了解光刻機的內(nèi)部基本原理——光源經(jīng)過照明模組投向掩模版，再穿過掩模版上的電路圖案，通過投影物鏡將影像聚焦到晶圓上。“元宇宙”中還有生動的全方位光刻解決方案動畫和豐富多樣的科普視頻，令觀展者沉浸式了解更多有關(guān)ASML的故事。

　　“每年我們都會思考以什么樣的形式參加進博會”，沈波說，去年，進博會的集成電路專區(qū)設(shè)立，凸顯了外界對產(chǎn)業(yè)的關(guān)注和重視。希望未來在設(shè)立專區(qū)的基礎(chǔ)上，能夠增加宣傳和引導(dǎo)，比如舉辦一些專題或者小論壇，以加深外界對行業(yè)的了解。

　　其實，除了光刻機，ASML在芯片制造的成像環(huán)節(jié)也會提供全方位的光刻解決方案，從光刻機設(shè)備本身到計算光刻軟件，再到芯片生產(chǎn)過程的量測、缺陷的檢查等，ASML均有涉獵。“我們更想跟大家講講怎么幫助客戶在芯片生產(chǎn)的過程中，在我們的環(huán)節(jié)上做出足夠大的工藝窗口，讓芯片生產(chǎn)的質(zhì)量、精度能夠控制得更好，或者讓客戶的技術(shù)進步更順暢地向前。這是我們今年進博會主要的出發(fā)點。”

　　當(dāng)前，中國已是全世界最大的成熟制程市場，這儼然成為行業(yè)的共識。“中國在整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中扮演非常重要的角色，這是所謂‘不確定性中的確定性’。在這種確定的情況下，中國該怎么發(fā)展成熟制程，怎么把成熟制程做好，怎么在全球的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈里把自己重要的角色扮演好，從這個角度看，中國市場的潛力是很大的，中國有全世界最大的終端市場，最活躍的應(yīng)用市場，終端市場、應(yīng)用市場反過來可以推動上游設(shè)計、制造方面的發(fā)展創(chuàng)新。”

　　說起行業(yè)未來的發(fā)展，沈波坦言，半導(dǎo)體行業(yè)自身有一定的周期，有起有伏不是新鮮事。但是從半導(dǎo)體行業(yè)過去多年的發(fā)展和對未來的預(yù)期來看，整體向上的趨勢是在的，“只要大趨勢在，就會要求有更多的計算、更多的存儲、更多新的應(yīng)用支持，就會帶動半導(dǎo)體行業(yè)的需求量向上”。(完)

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